【词语】 离子束
【全拼】 lí zǐ shù
【释义】 在真空中聚成一细束状的离子流。它具有类似电子束的很多性质，如可被电场或磁场偏转、具有很大的动能等。
【例句】 1、电子束与离子束微细加工
2、 另外，可以从邻近线段和入射离子束取得平均角度的信息。
3、 为了使沟道效应最小，GaAs靶应稍偏离离子束的轴向。
4、 聚焦离子束光刻
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